В МИФИ ведется разработка новой кластерной технологии полирования поверхности материалов

С целью создания нового поколения приборов и устройств, отвечающих самым высоким требованиям чистоты поверхности полупроводниковых пластин, сотрудники кафедры физики конденсированных сред (№67) НИЯУ МИФИ подошли вплотную к созданию новой технологии планаризации поверхности материалов карбида кремния ускоренными кластерными ионами
#НИЯУ #МИФИ #новостиМИФИ #mephi