Алексей Алексеевич, что дает университету уча тие в проекте «Передовые инженерные школы» и как создание ПИШ в НИУ МИЭТ будет содействовать развитию отечественной электронной отрасли?

Важнейшим элементом обеспечения технологической независимости является наличие отечественных средств проектирования и производства ЭКБ, обеспечивающих создание критически важных компонентов электроники. Дефицит современного российского специального технологического оборудования (СТО) и САПР оказывает существенное влияние на темп освоения производства высокотехнологичной электронной продукции.

Развитию данного направления, включая специальные материалы, посвящена комплексная программа, реализуемая Минпромторгом России. Решение поставленных задач в достаточно короткие сроки требует большого количества уникальных специалистов, которые еще недавно были мало востребованы на рынке труда.

Участие в федеральном проекте «Передовые инженерные школы» дает МИЭТ возможность восстановить систему подготовки соответствующих специалистов, в том числе за счет создания совместно с партнерами новых образовательных программ, специализированной образовательной и научной инфраструктуры. Помимо этого, будут сформированы новые научные и инженерные коллективы, научно-технический задел и востребованные рынком продукты.

НИУ МИЭТ в следующем году отпразднует свое 60-летие. В течение всей своей истории университет готовит кадры для микроэлектроники. Какие практики вуза легли в основу созданной ПИШ? Как инженерная школа наложилась на образовательные традиции, которые сформировались в МИЭТ за прошлые годы?

Традиционно система подготовки кадров в МИЭТ характеризуется сильной фундаментальной базой на младших курсах и глубоким погружением в практические задачи на старших.

Научно-технологический базис ПИШ МИЭТ – это созданная совместно с партнерами – АО «ЗНТЦ», НПК «Технологический центр», АО «Завод ПРОТОН» –уникальная технологическая инфраструктура, обеспечивающая исследования и разработки по всему циклу создания радиоэлектронной продукции от материалов микроэлектроники и производства фотошаблонов до кристального производства и корпусирования интегральных схем, а также разработки, прототипирования и испытаний РЭА. Идея создания и постоянное развитие этой инфраструктуры – во многом заслуга научного руководителя нашей передовой инженерной школы Владимира Александровича Беспалова, ставшего вдохновителем и идеологом ПИШ МИЭТ. Технологические сервисы МИЭТ позволяют интегрировать всё это в образовательный процесс.

К примеру, в университете уже не первый год действует центр коллективного проектирования, обеспечивающий вычислительными ресурсами и специализированными САПР весь упомянутый цикл. Во время выполнения курсовых и лабораторных работ студенты создают ИС и устройства на их основе и имеют возможность оценить результат с использованием современного измерительного оборудования. В 2023 году на базе НИУ МИЭТ создан единственный в России технологический сервис MPW (Multi-Project Wafer), предоставляющий доступ образовательным и научным организациям к отечественным микроэлектронным производствам для изготовления малых серий ИС. С начала запуска к работе сервиса подключилось более 15 вузов и научных организаций и восемь производств. Было осуществлено несколько запусков.

Традиционно большой процент старшекурсников проходит практику и выполняет выпускные квалификационные работы на базе предприятий – партнеров университета, находящихся в Зеленограде. В ПИШ мы концентрируемся на практике обучающихся в составе проектных междисциплинарных команд, которые привлекаются к реальным научным и инженерным проектам индустриальных партнеров школы. Организуем стажировки для талантливых ребят на базе ведущих отраслевых предприятий с привлечением наставников – специалистов из отрасли, которые курируют процессы образования и получения практических навыков. Базовая инженерная подготовка на уровнях бакалавриата и специалитета обеспечивается коллективом из разных институтов университета, вузов и компаний – партнеров ПИШ МИЭТ.

В целом ПИШ продолжает традиции МИЭТ, заключающиеся в комплексной подготовке инженерных и научных кадров по всем разделам микроэлектроники и наноэлектроники, при этом открывая новые направления подготовки в области средств проектирования и производства ЭКБ, которые ранее были не так востребованы отраслью.

Передовые инженерные школы открыты в нескольких университетах по всей стране. На каких задачах сосредоточена ПИШ МИЭТ?

В настоящий момент в Российской Федерации создано около 50 ПИШ, задачами которых является реализация прорывных технологий и подготовка специалистов в различных областях науки и техники. Задачей ПИШ МИЭТ является в первую очередь кадровое и научное обеспечение электронной отрасли в части отечественных средств производства и проектирования ЭКБ, включая материалы, технологии, оборудование и САПР. Это отражает ее название – «Средства проектирования и производства электронной компонентной базы».

Сейчас ПИШ МИЭТ сконцентрирована на разработке конкретных продуктов в интересах электронной промышленности и проектной подготовке кадров на базе научных и инженерных групп, выполняющих эти работы. В области электронного машиностроения это электронная литография, технохимический трек подготовки пластин, генератор изображений, системы управления оборудованием; в области систем автоматизированного проектирования – разработка маршрута цифровых СБИС, инструментов приборно-технологического моделирования и проектирования фотошаблонов. Для этого в ПИШ МИЭТ создаются научно-исследовательские лаборатории, в которых реализуются исследовательские проекты, а также ОКР по заказу предприятий и Минпромторга России. Программой развития школы предусмотрено регулярное расширение перечня разрабатываемых перспективных продуктов, их внедрение и коммерциализация.

Но базовая задача ПИШ – это создание системы подготовки специалистов, способных решать сложные научные и инженерные задачи.

Как отрасль помогает инженерной школе НИУ МИЭТ? Какие партнеры университета вовлечены в реализацию проекта? В чем заключается интерес компаний в участии в этой деятельности в качестве партнеров ПИШ?

На момент основания ПИШ высокотехнологичными компаниями-партнерами являлись более 15 организаций. В настоящее время количество партнеров расширяется. Это ведущие отечественные предприятия в области разработки специального технологического и измерительного оборудования, технологий, САПР, маршрутов проектирования СБИС.

Главным интересом для компаний, безусловно, является целевая подготовка высоко дефицитных инженерных и управленческих кадров. Для этого ПИШ совместно с партнерами создает новые образовательные программы, ориентируясь на потребности отрасли, привлекает ведущих специалистов высокотехнологичных предприятий к руководству программами и преподаванию актуальных дисциплин. Создаются новые технологические пространства и лаборатории для проведения научно-исследовательской и образовательной деятельности, практик, стажировок и переподготовки кадров, реализуются специальные стипендиальные программы для студентов.

Так, в этом году в кооперации с компаниями – ведущими разработчиками специального технологического оборудования – АО «НПП «ЭСТО», АО «ЗНТЦ», АО НИИТМ, АО «НИИПМ», ООО НПЦ «Лазеры и аппаратура ТМ» – были разработаны две магистерские программы по подготовке конструкторов и разработчиков систем управления для СТО. Программы построены по модульной схеме и включают как набор дисциплин по основам методологии проектирования и управления инженерными проектами, так и набор специальных дисциплин по видам технологического оборудования: вакуумно-плазменное, литографическое оборудование, имплантеры и т. д. Во время обучения ребята будут проходить практику и стажировки на базе предприятий и лабораторий ПИШ. В планах – создание специализированного инженерного хакатона совместно с партнерами для популяризации этого направления.

С ключевыми партнерами по направлению САПР – ООО «Альфачип», АО «МНТЦ МИЭТ» – ведется разработка образовательной программы по использованию открытых средств САПР для проектирования цифровых СБИС и СнК. Подготовка специалистов в данной области необходима для эффективного освоения отечественного маршрута проектирования цифровых СБИС, разработка которого ведется партнерами ПИШ.

Совместно с «КНС Групп» (Yadro) – индустриальным партнером передовой инженерной школы МИЭТ – разработана новая магистерская программа «Вычислительные системы и электронная компонентная база», которая включает в себя проектное обучение по трем направлениям: функциональная верификация, RTL-проектирование и топологическое проектирование. Она запускается на базе уже апробированной дополнительной программы «Проектирование микроэлектроники от СФ-блока до ИС», которая реализовывалась совместно с «КНС Групп» и содержала в себе летнюю стажировку вне образовательного процесса YADRO Импульс и практику на базе совместной лаборатории в ПИШ МИЭТ.

Еще одним важным интересом компаний является совместная реализация НИОКР. Для этого в текущем году в ПИШ МИЭТ уже создано пять совместных научно-исследовательских лабораторий (НИЛ), которые занимаются задачами в области электронной литографии, систем управления технологическим оборудованием, САПР СБИС, проектирования СФ-блоков и создания библиотек, технологий корпусирования 3D-микросистем. В стадии организации еще три совместные НИЛ в области перспективных технологий микроэлектроники.

Что бы вы назвали в качестве отличительных черт образовательных программ ПИШ «Средства проектирования и производства электронной компонентной базы»?

Целевой моделью образовательной деятельности ПИШ является заказная подготовка высококвалифицированных кадров. Отличительные особенности организации образовательного процесса Передовой инженерной школы «Средства проектирования и производства электронной компонентной базы» включают:

• создание среды подготовки кадров в области разработки средств автоматизированного проектирования и СТО, основанной на принципе вовлечения обучающихся в проектную деятельность под руководством ведущих ученых и конструкторов отрасли;

• развитие научно-технологической и образовательной инфраструктуры, а также создание новых образовательных пространств по направлениям деятельности ПИШ;

• создание системы ранней профориентации школьников, включая комплекс образовательных, профориентационных и конкурсных мероприятий, в том числе в регионах РФ;

• разработка и реализация основных и дополнительных образовательных программ в области электронного машиностроения, систем автоматизированного проектирования электроники, проектирования ЭКБ и систем на ее основе.

На базе ПИШ совместно с Центром виртуального прототипирования МИЭТ создана лаборатория «Цифровые и кибер-физические системы», в которой разрабатываются и внедряются в научно-образовательный процесс комплексы виртуальной реальности для опережающей подготовки и исследований в области технологий и оборудования, математического моделирования технологических процессов производства ЭКБ.

Уникальным элементом с точки зрения организации образовательной деятельности станет технологический полигон, который обеспечит прохождение стажировок студентов под руководством наставников из числа сотрудников предприятий-партнеров с использованием комплектов реального технологического, измерительного и производственного оборудования. Благодаря такому полигону студенты получат практический опыт создания технологического оборудования, разработки технологий и применения полученных теоретических знаний для работы с реальным оборудованием в рамках практики и выполнения НИР и ОКР в составе команды с предприятиями-партнерами.

Партнерами технологического полигона выступают ведущие компании – разработчики и производители специального микроэлектронного оборудования. Уже сейчас на площадке АО «ЗНТЦ» отрабатывается концепция данного полигона, где идет апробация и наладка технохимического трека подготовки пластин, разработанного АО «НИИПМ», для освоения литографических операций техпроцесса 350 нм.

Подпишитесь на журнал, чтобы прочитать полную версию интервью.