Первая ксерокопия была сделана 22 октября 1938 г.

в импровизированной лаборатории, расположенной в подсобном помещении косметического салона гостиницы «Астория» в Нью-Йорке, Честером Карлсоном (Chester Carlson) – адвокатом по профессии и ученым по призванию. Отказавшись от фотографических методов, Карлсон проводил эксперименты с электростатическими зарядами и фотопроводящими материалами, исследуя изменение их электрических свойств под воздействием света. В течение нескольких лет он безуспешно пытался доказать, что изобретенная им технология является очень важной и необходимой для бизнеса. Людям не нравилась как громоздкость аппарата, так и то, что он пачкает бумагу. После 6 лет бесплодных попыток продать изобретение Карлсону наконец улыбнулась удача. Институт Battelle Memorial из Огайо предложил ему совместно усовершенствовать процесс «электрофотографии».
В 1947 г. лицензию на разработку и вывод на рынок первого копировального аппарата по технологии Карлсона у Battelle Memorial приобрёла The Haloid Company, занимающаяся производством и продажей бумаги. Вскоре эта компания выкупила и все остальные права на его изобретение. Год спустя Карлсон и The Haloid Company сходятся во мнении, что слово «электрофотография» слишком длинное. Профессор филологии из университета в Огайо предлагает слово «ксерография» (от греческих слов xeros – сухой и graphei – письмо). Впоследствии в качестве торговой марки для новых копировальных аппаратов Карлсон сокращает это слово до более короткого «ксерокс».
В 1949 г. на рынке появляется первый копир – Model A, а в 1958 г. The Haloid Company превращается в Haloid Xerox. Через 3 года проходит презентация первой автоматической модели офисного «копира», использующего обыкновенную бумагу – Xerox 914, получившей большой коммерческий успех. Haloid Xerox меняет название, – так родился бренд Xerox. Ныне ксерография – наиболее распространенный способ копирования документов.